芯片廠專用空氣過濾器提高生產質量

信息來源：http://m.chantry.cn/ 發(fā)布時間：2013/11/22 9:51:50 點擊數(shù)： Tags: 空氣過濾設備

當今，半導體芯片廠對生產環(huán)境空氣潔凈程度挑剔，對空氣過濾器的要求也苛刻，粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

衡量芯片集成工的指標之一是“線寬”，即集成電路上導線的寬度。在線寬以微米計的年代，制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成1/4、1/2.2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13μm,此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較過時了

芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是“大循環(huán)”，車間的整個天花板上布滿無隔板高效過濾器，整個地面為回風柵板�，F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風機的高效過濾器裝置。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。

能擠進芯片廠的高效過濾器和FFU都要經過逐臺掃描測試，芯片廠以為，傳統(tǒng)的檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰和DOP法的賬。

空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過濾器就能將其除去。有人說電子工業(yè)的理想地點應該遠離海岸，可國內芯片廠就建在了經濟發(fā)達的沿海地區(qū)，在空氣過濾器上多花點錢就是了。

芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發(fā)物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以控制空氣中的離子，少了個隱患，多了個麻煩。目前PTEF高效濾材的價格偏高，絕大部分高效過濾器仍使用傳統(tǒng)的玻纖濾紙。高效過濾器上可能的揮發(fā)物主要源于制造過程的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料，為芯片廠供貨的空氣過濾器廠商要在避免微量揮發(fā)物上下些功夫。

但當芯片的線寬小到0.5μm時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯片廠空調系統(tǒng)中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。

化學污染物的來源有：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下，設計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是傳統(tǒng)的、便宜的，微孔尺寸大小不均的顆粒活性炭。如果能確定染污物種類，就可對吸附材料進行有針對性的化學處理，以增強對物定污染物的吸附能力。

過濾器供應商有時還要提供相應的現(xiàn)場檢測服務，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的有經驗的人，并與權威實驗室的密切的關系。遺憾的是國內過濾器廠商沒有幾家在那上面下功夫，所以國內芯片廠目前使用的化學過濾器多數(shù)是進口產品。

半導體工業(yè)并非“無煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問題。那里經常采用的工藝和材料，有些化學物品在其安全性尚未得到評估前就已經大量使用了。為降低環(huán)境風險，有些芯片廠的排風系統(tǒng)也裝有化學過濾器。由此可見，使用空氣過濾器是必要的，那么今天我們主要給大家講解了關于芯片廠不使用空氣過濾器的壞處以及使用空氣過濾器的好處，大家可以詳細了解下。